| 名次 | 学校名称 | 专业星级 | 所在地区 | 地区排名 |
| 1 | 清华大学 | 6星级 | 北京 | 1 |
| 2 | 西北工业大学 | 5星级 | 陕西 | 1 |
| 3 | 北京航空航天大学 | 4星级 | 北京 | 2 |
微机电系统工程专业在光、机、电技术一体化方面的优势和研究成果为微机电系统技术方面的研究和发展打下了坚实的基础。本系在微纳米和微机电系统如微泵、微传感器、微加速度计等一系列微器件的设计、制造、工艺、测试以及基础理论等方面进行了深入的研究,其它的研究领域还有:微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术、小飞机、小卫星和微米卫星、纳米摩擦学以及光盘机读写头微型机构等。
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