不是检测真空的,是检测真空度的,一般看设备的等级,使用的方式不同,有电阻规管,电离规管等不同;更次的不是用这些检测的,是使用扩散硅,电容等压力传感器测量负压的。
一般高真空是使用电阻规管,电离规管。电阻规和电离规是两种不同原理的规管,由于原理的限制,电阻规测低真空比较好(大气压到5×10-4mbar),而电离规测高真空比较好(0.01mbar~10-9mbar)。有好多的应用需要全量程的真空贵,所以真空规厂家就把规管做成复合规,一个真空规里面含有两个规管,然后根据真空度自由转换。
电离规:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。如:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。
电阻规:利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。