干涉仪镜头怎么选

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干涉仪镜头怎么选型号

推荐答案

2023-10-23 23:49:21

1.市场占有率,虽然占有率不能说明一切,但也是市场淘沙后的生存法则

2.激光干涉仪测量的是距离、以及衍生出来的平行度、垂直度、直线度、圆度,三轴机床21项误差中18项,五轴系统39项全误差测量目前没有较为合适的商用产品。测量的精度极高可达0.2微米/米,但同时对环境也较为挑剔,激光精度受环境影响较大,极高的测量精度必须依靠较为稳定车间环境,所以激光干涉仪要得出真实的测量数据必须激光干涉仪和机床充分预热,车间环境也参考激光干涉仪使用的环境。

3.鉴于厂商间的竞争,各个厂商对同一个项目会采用不同的测量原理,建议优先采用激光长度为基准的测量(比如说测直线度有厂家采用PSD,其直线度精度依据PSD光学元件的精度,远低于其他激光长度为基准的测量方式)

其他答案

2023-10-23 23:49:21

菲索式激光干涉仪常用来测试球面面形。不同球面的关键参数包括,凸面还是凹面;通光孔径;被测球面曲率半径等等。不同的球面可能会需要不同的球面标准镜;而一种球面标准镜只能适应一定参数范围内的球面测量。如何合理的选择球面标准镜,以满足当前球面样品的测试要求;并且最大范围地覆盖不同参数的球面测试要求;是激光干涉仪使用的一个常见问题。

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