光刻机的分辨率越高，芯片刻录的线路就越小，从而集成更多线路，提高计算能力，降低功耗，光刻机的焦深越大，芯片就能构筑更多架构层数，从而提升芯片的性能，两者相结合就能大幅度提高芯片性能，并且降低芯片功耗。
1.焦深与总放大倍数及物镜的数值孔径成反比。
2．焦深大，分辨率降低。由于低倍物镜的景深较大，所以在低倍物镜照相时造成困难。在显微照相时将详细介绍。
焦深：物体上的点在镜头后的成像轴线上所能够获得的较清晰的成像距离。焦深：指在保持影像较为清晰的前提下，焦点（焦平面）沿着镜头光轴所允许移动的距离。
焦深：与景深相互共轭的眼视网膜像位间的距离（不是很准确）。焦深（简单的说）：镜头的像平面两边的成像清晰范围。
定义：焦深从像平面前开始，到达像平面时汇聚的光锥形成最小程度的弥散圈，然后在像平面背后发散光锥延伸到焦深开始时同样的直径上时而消失，它的深度很小只为一英寸的百分之几而已。因此焦深所提供的调焦宽容度很小。
