1.按实现真空的工作原理分类
（1）抽除式 真空泵抽吸系统中的气体 , 并将气体分子排至系统之外。
（2）捕集式 真空泵捕、集系统中的气体分子 , 直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。
2.按真空泵结构分类
（1）机械式 这类真空泵类似于压缩机,属于容积型的有往复式与回转式结构,还有属于动力式的涡轮分子泵并都属于抽除式真空泵。
（2）喷射式 有喷射泵与扩散泵两种形式 , 还有将两者组合在一起的增压泵,也都属于抽除式真空泵。
（3）吸着式 依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面,并都属于捕集式真空泵。
机械式真空泵
机械式真空泵的种类很多,且属于输送气体的机械,其动力性能、结构强度等均与压缩机有许多类似之处 。
（一） 往复式真空泵
往复真空泵是最古老的结构形式,其结构坚固、运行可靠、对水分不敏感, 极限压力为 (1～2.6) kPa, 抽速范围为 (50～600)L/S,主要用于大型粗真空系统, 如真空干燥、真空过滤、真空浓缩、真空蒸馏、真空结晶以及其他气体抽除等。往复真空泵不适于抽除含尘或腐蚀性气体, 除非经过特殊处理。一般气缸都有油润滑,所以有可能污染系统的设备。
往复真空泵由气缸、活塞组成的工作腔部分与由曲轴、连杆、十字头、活塞杆等传动部分构成。控制气体吸进与排出气缸的阀门有自动阀与强制阀两种。
（二）油封回转式真空泵
油封回转式真空泵可直接用作抽气,也可作为其他主泵的前级泵,极限压力为6 ×Pa, 抽速0.5～150L/s 。
油封回转式真空泵主要有旋片式、定片式、滑阀式等三种结构型式,其特点是: 用油使泵体与排气系统隔开, 可防止排出气体向泵内回窜(故称为油封式); 泵内必须设置油分离装置,以分离排气时带走的润滑油;一般情况下仍难以将油蒸汽彻底清除,所以对真空系统和周围环境会造成油污染。
（三） 液环式真空泵
液环式真空泵在炼油化工生产中经常使用,是利用叶轮旋转时形成液环与叶片间容积周期性变化而抽吸气体。液环式真空泵也称纳氏泵, 因为大多数场合用水作为工作液体,故常称为水环式真空泵。其结构简单、工作可靠,可抽吸含固体微粒、水分,或易燃、易爆的气体,根据气体性质采用合适的工作液体,也可用于抽吸腐蚀性气体。
