可以生产22纳米以下制程的芯片。
14纳米光刻机可以生产22纳米以下制程的芯片。实际上并不是14纳米光刻机，而应该叫做13.5纳米euv光刻机。该制程光刻机是专门用于生产22纳米以下高制程芯片的，并且随着duv光刻机制作14纳米芯片工艺成熟，13.5纳米euv光刻机通常会用于14纳米以下制程芯片，比如12纳米、10纳米、8纳米、7纳米、5纳米，最高目前可以到4纳米。
问14纳米光刻机能生产几纳米芯片
问题描述：
纳米光刻机能生产几纳米芯片吗
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7～14nm制程的芯片
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