溅射镀膜的基本原理

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问题描述:

溅射镀膜工作区域的选择及理由

推荐答案

2023-10-24 13:29:22

溅射镀膜是一种常用的表面形成技术,它是利用物理冷凝原理在物体表面形成一层薄膜。其基本原理是用高能离子束轰击固体材料(称为靶材),使得靶材表面的原子和分子离开靶材,通过惯性效应沉积在希望镀膜的物体表面,从而形成一层薄膜。

具体而言,溅射镀膜技术的工作原理是:将待镀膜物品(如塑料、玻璃或金属)置于真空室中,使用高频电源在靶材上产生电弧或使用直流或脉冲电流等通过靶材的离子束轰击靶材,即溅射过程。靶材中的原子和分子将从表面脱离,在真空室内运动,并沉积在待镀膜物品的表面,从而形成一层均匀的薄膜。

通过控制靶材的材料、工艺参数和溅射能量等,可以获得不同颜色和性质的薄膜,如镀金、黑色、透明等。溅射技术具有成本低、可控性好、生产效率高和工艺环保等优点,因此在现代工业制造中得到广泛应用。

其他答案

2023-10-24 13:29:22

基本原理是利用带电荷的离子在电场中加速后其有一定动能的特点,将离子引向欲被溅射的靶电极。

在离子能量满足一定条件的情况下,入射的离子在与靶原子的碰撞过程中使靶原子从表面溅射出来,被溅射出来的原子带有一定的动能,并且会沿着一定的方向射向基片,从而实现在基片上薄膜的沉积。

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