就是晶圆的半成品。
在裸硅片(或者其他衬底)上利用分子束外延法镀上多层薄膜,形成该芯片所需要的结构,用分子束外延法制作出来的已经完成镀膜的半成品就是外延片,外延片再经过光刻、刻蚀、清洗、离子注入等工艺环节,再经过打线、Bonder、FCB、BGA植球、检测等后道工艺形成的成品就是晶圆wafer。所以晶圆外延片相对于成品晶圆就是半成品。
外延晶体管
就是晶圆的半成品。
在裸硅片(或者其他衬底)上利用分子束外延法镀上多层薄膜,形成该芯片所需要的结构,用分子束外延法制作出来的已经完成镀膜的半成品就是外延片,外延片再经过光刻、刻蚀、清洗、离子注入等工艺环节,再经过打线、Bonder、FCB、BGA植球、检测等后道工艺形成的成品就是晶圆wafer。所以晶圆外延片相对于成品晶圆就是半成品。
晶圆是就是WAFER,就是基材.
外延片,是在WAFER基础上做的EPI工艺.这样出来的WAFER就是EPI WAFER,也叫外延片。