mosfet芯片制造流程

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问题描述:

芯片制造流程详解

推荐答案

2023-10-24 15:04:03

1. 芯片设计:首先需要进行芯片设计,包括确定芯片的功能和参数,通过计算机辅助设计软件绘制电路图和版图。

2. 掩模制作:将设计好的电路图和版图通过一系列加工工艺制作成一张掩膜,即光刻掩模。

3. 晶圆制备:将掩膜和一张硅晶片上的光敏材料层(如光阻)通过紫外线照曝光和化学腐蚀等工艺制作成一张透明的光刻模板,也就是晶圆上的电路结构。

4. 晶圆曝光:将掩模映射到晶圆上,使用紫外线把芯片的电路图投影到晶圆上,并将其映射下来,形成芯片中细小的电路图案,将电路图案形成模拟信号轨迹。

5. 蚀刻:蚀刻即是去掉没有被照射到紫外线的部分材料,呈现晶圆上电路轨道图的过程。

6. 氧化处理:对晶体表面进行处理,清除蚀刻剩余物质和杂质,并在晶体表面形成一层氧化层作为保护和支撑层。

7. 衬底接口形成:晶圆经过蚀刻和氧化处理后,形成电路图案和氧化层,还应当形成衬底接口,即p-n结或者MOS结的形成。

8. 金属化处理:利用蒸镀或物理气相沉积方式,在晶圆上沉积一层金属,作为连接电路的线路。

9. 器件结构形成:利用化学蚀刻、离子注入或沉积等过程形成介电层和金属化层,实现电改革工作。

10. 测试和封装:制成封装件并进行测试。测试包括特性参数测试和可靠性测试等,封装则是将芯片封装到具有引脚的器件中,以方便使用。

其他答案

2023-10-24 15:04:03

1.将硅单晶切成大圆片,并加以研磨、抛光。

2.抛光后的片子经仔细清洗后,热生长一层二氧化硅层。

(一次氧化)

3.用光刻技术可除漏、源扩散窗口上的二氧化硅。

(一次光刻)

4.进行选择性的杂质扩散。

5.去处所有二氧化硅,重新生长一层质量良好的栅极二氧化硅层,并进行磷处理。

(二次氧化+磷处理)

6.刻除漏、源引线窗口上的二氧化硅。

(二次光刻)

7.在真空系统中蒸发铝。

(铝蒸发)

8.反刻电极。

9.进行合金。

10.检出性能良好的管芯,烧焊在管座上,键合引线。 11.监察质量(中测)

12.封上管帽,喷漆。

13.总测。

14.打印,包装。

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