1. 芯片设计:首先需要进行芯片设计,包括确定芯片的功能和参数,通过计算机辅助设计软件绘制电路图和版图。
2. 掩模制作:将设计好的电路图和版图通过一系列加工工艺制作成一张掩膜,即光刻掩模。
3. 晶圆制备:将掩膜和一张硅晶片上的光敏材料层(如光阻)通过紫外线照曝光和化学腐蚀等工艺制作成一张透明的光刻模板,也就是晶圆上的电路结构。
4. 晶圆曝光:将掩模映射到晶圆上,使用紫外线把芯片的电路图投影到晶圆上,并将其映射下来,形成芯片中细小的电路图案,将电路图案形成模拟信号轨迹。
5. 蚀刻:蚀刻即是去掉没有被照射到紫外线的部分材料,呈现晶圆上电路轨道图的过程。
6. 氧化处理:对晶体表面进行处理,清除蚀刻剩余物质和杂质,并在晶体表面形成一层氧化层作为保护和支撑层。
7. 衬底接口形成:晶圆经过蚀刻和氧化处理后,形成电路图案和氧化层,还应当形成衬底接口,即p-n结或者MOS结的形成。
8. 金属化处理:利用蒸镀或物理气相沉积方式,在晶圆上沉积一层金属,作为连接电路的线路。
9. 器件结构形成:利用化学蚀刻、离子注入或沉积等过程形成介电层和金属化层,实现电改革工作。
10. 测试和封装:制成封装件并进行测试。测试包括特性参数测试和可靠性测试等,封装则是将芯片封装到具有引脚的器件中,以方便使用。