键合机是一种用于制造微机电系统(MEMS),纳米机电系统(NEMS)或光电或微电子物体的设备的过程
因为在键合过程中,机械或电气设备会熔合到晶圆本身,所以从而实现微电子材料、光电材料及其纳米等级微机电元件的电气互联、功能集成和器件封装 。
键合机工作原理
键合机是一种用于制造微机电系统(MEMS),纳米机电系统(NEMS)或光电或微电子物体的设备的过程
因为在键合过程中,机械或电气设备会熔合到晶圆本身,所以从而实现微电子材料、光电材料及其纳米等级微机电元件的电气互联、功能集成和器件封装 。
键合机,或者焊线机,是实现引线键合工艺的一种设备,是半导体生产线上后封装工序必备的关键设备之一。