退火工艺
离子注入后退火：加热注入硅片，修复晶格损伤，使杂质原子移动到晶格点，将其激活。
高温退火和快速热处理相比，快速热处理更优越。
因为快速热处理可以避免长时间的高温导致杂质扩散，以及减小瞬间增强扩散。
问半导体中asher是什么工艺
问题描述：
半导体中asher是什么工艺
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Asher是半导体中的一种工艺，它是一种用于制造微小电子元件的技术，它可以将金属粒子烧结到半导体表面上，从而形成电路。Asher工艺可以用于制造多种电子元件，如晶体管、集成电路、光电元件等。
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