光刻机有显影功能吗

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光刻机有显影功能吗知乎

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2023-10-24 15:20:02

1 光刻机没有显影功能。

2 光刻机主要用于制造微电子器件中的芯片图案,它通过光刻技术将芯片图案投射到光刻胶上,然后通过显影过程将光刻胶中未曝光的部分去除,形成芯片的图案。

3 显影是光刻工艺中的一个步骤,用于去除未曝光的光刻胶,使得芯片图案能够准确地转移到硅片上。但是光刻机本身并不具备显影功能,显影是在光刻胶涂覆后,将光刻胶浸泡在显影液中进行的。

其他答案

2023-10-24 15:20:02

显影是在正性光刻胶的曝光区和负性光刻胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解,在光刻胶上形成三维图形的一种光刻技术。

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