1、燃烧前处理。
在催化燃烧设备中，对有机物的去除主要采用吸附、过滤和冷凝等方法。由于催化氧化反应温度较高，一般采用多段式吸附或循环水冷却法来保证较高的传热系数。
2、预热。
在催化焚烧过程中，为防止因低温造成催化剂的堵塞而影响反应的顺利进行，需将物料预热至250°C以上。常用的加热方法有：蒸汽加热法、电加热和导热油加热等。
3、预氧化。
在催化燃烧装置内进行预氧化操作是为了提高反应温度并减少有害气体的生成量。常用的预氧化的方法是：
用空气吹扫或鼓风曝气的方法；用高温气体冲刷或用氮气保护使有机物与氧气充分接触的方法；用碱液吸收等方法；用水蒸气冲刷等方法；使用化学药剂使其分解的方法等。
4、净化。
为了除去废气中夹带的少量水分及酸性成分等杂质，可在催化剂表面涂覆一层碱性物质以降低pH值并抑制其腐蚀作用；也可加入适量阻垢剂以防止结垢的产生。
5、点火。
（1）启动方式。
根据被处理的废气性质的不同选择不同的启动方式：对于易燃易爆的气体可采用直接起动的方式来进行处理作业；对于可燃性气体可采用助燃风机间接起动的处理工艺流程来进行处理作业；
对于有毒有害的有机污染物可采用惰性气体喷淋等方式进行处理作业。具体的选择应根据废气的性质而定。
（2）运行控制。
