三国魏始置,员二人,七品,居宫殿中纠察非法,隶御史台。西晋员四人,东晋减为二员,七品。
南朝沿置,宋七品; 梁增为四员,流外七班,陈亦为流外官。北朝地位较重。北魏或掌宿卫禁兵,孝文帝太和十七年(493)定为从五品中,二十三年改从八品上。北齐员十二人,八品。隋朝避文帝讳,改名殿内侍御史。
唐朝复旧,员六人,从七品下,又有里行、内供奉等名目,皆非正员,俸禄稍减。隶御史台下设之殿院,职掌纠弹殿庭供奉朝会班次及大驾卤簿仪节,后又兼掌宫门、库藏。
其中二员协助侍御史,同知东、西推;二员为廊下食使; 二员分知左、右巡,号两巡使,掌京城内外治安,为御史中最繁剧之职,领京畿诸州兵。中唐以后,又常为外官所带宪衔。