分子泵是一种利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的 。
早在 1913 年,就有人提出了分子泵的原理,即要被抽的分子粒子会通过与快速运动的转子表面发生碰撞,而得到一个沿所需流动方向的冲量。转子的表面通常为圆盘形,它与定子的静止表面形成一个空隙以用于将气体朝向前级端口输送。
分子泵原理
分子泵是一种利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的 。
早在 1913 年,就有人提出了分子泵的原理,即要被抽的分子粒子会通过与快速运动的转子表面发生碰撞,而得到一个沿所需流动方向的冲量。转子的表面通常为圆盘形,它与定子的静止表面形成一个空隙以用于将气体朝向前级端口输送。
分子泵是一种高真空泵,其原理是利用高速旋转的转子将气体分子抽出,从而达到高真空的目的。分子泵内部有一个转子,转子上有多个叶片,当转子高速旋转时,气体分子会被叶片撞击并向外排出,形成真空。分子泵适用于需要高真空环境的实验和工业生产领域,如半导体制造、真空冷却、光学薄膜沉积等。