所谓的等离子就是带正负电荷总数相当的一堆离子。将物质电离，就会形成自由电子、离子以及中性粒子，他们带电量总和为零。是除固、液、气之外的又一种物质状态。
等离子体按照温度分为：高温等离子体和低温等离子体，高温等离子体是高于10000℃的等离子体，如太阳核心、聚变。
低温等离子体又分为热等离子体和冷等离子体。热等离子体是稠密气体在常压或高压下电弧放电或高频放电而产生的，温度也在上千乃至数万开，可使分子、原子离解、电离、化合等。冷等离子体的温度在100-1000K之间，通常是稀薄气体在低压下通过激光、射频或微波电源发辉光放电而产生的。低温等离子体通常是由气体放电的方式产生。气体的放电方式一般有如下几种：辉光放电、电晕放电、介质阻挡放电、射频放电和微波放电。
根据离子温度与电子温度是否达到热平衡，可把等离子体分为平衡等离子体和非平衡等离子体
根据等离子体产生气体分类：可分为活泼气体和不活泼气体等离子体
根据等离子体产生方式分类： 直流放电等离子体 高频等离子体 射频等离子体 微波等离子体 燃烧 激光，紫外线。
-----沃特塞恩固态微波源作为优于磁控管的微波能量设备，可用于微波等离子体的各类应用环境中（http://www.wattsine.com.cn）
