面型精度采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征。因为使用可以测量波面的干涉仪来测量，所以也称为反射面精度。面型精度的干涉条纹数的单位是[λ ]。λ是干涉仪所用的氦氖激光器的波长632.8nm。表征面型精度有两个参数:PV和RMS值。PV值是 Peak to Valley (峰值与谷值的差值 )，RMS值是 Root Mean Square ( 均方根值 )，根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状，大多使用PV值来表示。例如:面型精度的PV值是1/4λ时，表示理想平面的最大偏差值是158.2nm
问为什么面精度可以用波长表示
问题描述：
为什么面间距大的晶面,面上格点的密度较高
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