以下为真空泵抽气步骤:
1. 准备工作:准备好ulvac真空泵、真空室、泵接头、气密密封胶、真空计等工具和材料。
2. 连接泵接头:将ulvac真空泵的泵接头与真空室的接口连接,使用气密密封胶将两者密封。
3. 开始抽真空:打开ulvac真空泵的开关,开始抽真空。在初次使用时,建议先进行低速抽真空,待真空度达到一定程度后再切换到高速抽真空。
4. 监测真空度:使用真空计监测真空度,当真空度达到所需的要求时,关闭ulvac真空泵。
5. 断开连接:将ulvac真空泵的泵接头与真空室的接口断开,完成真空抽取工作。
6. 清洗和维护:每次使用后,需要对ulvac真空泵进行清洗和维护,以保证其正常工作和延长使用寿命。