掺杂半导体是指在半导体材料中掺入其他元素或化合物,以改变其电导率或特性。常见的掺杂元素包括磷、氮、氧、氟等。掺杂半导体的种类较多,主要有以下几种:
1. 磷掺杂半导体:通过掺入磷元素,可以提高半导体的击穿场强、热稳定性和化学稳定性。磷掺杂半导体主要有 GaP、GaAsP、GaSbP 等。
2. 氮掺杂半导体:氮掺杂可以提高半导体的生长速度、减小缺陷浓度,并改善其光学性能。常见的氮掺杂半导体有 GaN、GaN2O、GaN2O3 等。
3. 氧掺杂半导体:氧掺杂可以增强半导体的导电性和热稳定性,降低杂质捕获。常见的氧掺杂半导体有 GaO、Ga2O3、Ga2O5 等。
4. 氟掺杂半导体:氟掺杂可以提高半导体的击穿场强、热稳定性和化学稳定性,同时降低杂质捕获。常见的氟掺杂半导体有 GaF、GaF2、GaF3 等。
5. 其他掺杂半导体:还包括硅、锗等元素掺杂的半导体,如 GaSiP、GaGeP 等。这些掺杂半导体具有不同的性能和应用领域,可以根据需求进行选择和制备。