外延(Epitaxy)制备技术是获得微纳米级高质量单晶半导体材料的重要手段;
半导体外延设备是半导体薄膜工艺设备中最高端、最具技术含量的一类设备,目前国产设备大多只能满足实验室科研需求,而产业化应用需要采用进口设备,这类设备大多被美国、德国、日本等国家垄断,尖端设备对我国实行严格的封锁禁运;基于本项目领军技术人员的二十多年的技术积累,开发多源大尺寸分子束外延MBE设备,突破国外技术垄断和封锁。
多源大尺寸分子束外延MBE设备,是半导体材料制备核心关键设备,国家重大战略急需(如第三代半导体),国外已对中国禁运。