19世纪末，E.Goldstein在低压放电实验中观察到正电荷粒子，随后W.Wein发现正电荷粒子束在磁场中发生偏转，这些观察结果为质谱的诞生提供了准备。
1912年，英国物理学家约瑟夫·约翰·汤姆逊研制出一台简易质谱仪,为后来质谱的发展奠定了基础。
1917年，电喷雾物理现象被发现（一个伟大的发现，可是并非为了在质谱神器上使用）。
1918年，Dempster 180°磁扇面方向聚焦质谱仪。
1919年，弗朗西斯·威廉·阿斯顿研制出第一台精密精质谱仪，测定50多种同位素，制作第一张同位素表。
1935年，马陶赫(Marttauch)和赫佐格(R.Herzog)根据他们的双聚焦理论，研制出双聚焦质谱仪。
1940年，尼尔(Nier)设计出单聚焦磁质谱仪，又于1960年设计并制成了一台小型的双聚焦质谱仪。
1942年，第一台商品质谱仪。
1953年，由鲍尔(Paul)和斯坦威德尔(Steinwedel)提出四极滤质器；同年，由威雷(Wiley)和麦克劳伦斯(Mclarens)设计出飞行时间质谱仪原型。
1954年，英格拉姆(Inghram)和海登(Hayden)报道的Tandem系统，即串联的质谱系统(MS/MS)。
1955年，Wiley &Mclarens 飞行时间质谱仪。
1960's，开发GC/MS。
1974年，回旋共振质谱仪。
1979年，传送带式LC/MS接口成为商业产品。
1982年，离子束LC/MS接口出现。
1984年，John Fenn发明一种软电离离子源，即电喷雾电离源(ESI)，大力促进了质谱技术在大分子分析领域，特别是生物大分子领域的应用。
1988年，电喷雾质谱仪首次应用于蛋白质分析。
1989年，Hens G. Dohmelt和 W. Paul,因离子阱（Iontrap)的应用获诺贝尔物理奖。
1990年，Katta and Chait 电喷雾电离质谱观察蛋白质构象改变。
1993年，商品电喷雾质谱仪。
1995年，付立叶变换离子回旋共振质谱仪（与ESI和MALDI联用）。
1998年，高分辨飞行时间质谱仪（DelayExtract, Reflectron技术）。
2002年，J. B. Penn 和田中耕一因电喷雾电离（electronspray ionization, ESI）质谱和基质辅助激光解吸电离(matrix-assisted laser desorption ionization, MALDI)质谱获诺贝尔化学奖。
2014年，Mr.ienore发布了一种反冲质谱仪的构想。
