没有SiF6这种物质，只有SiF4，是四氟化硅的化学式，一种无机化合物，为无色气体，溶于乙醇、硝酸、氢氟酸，不溶于乙醚。与碳酸钠溶液发生不完全水解反应：
3SiF4+2Na2CO3+2H2O=H4SiO4↓+2Na2SiF6↓+2CO2
与氢氧化钠反应较为彻底：
SiF4+6NaOH=Na2SiO3+4NaF+3H2O
与氢氟酸生成氟硅酸（六氟合硅酸）：
SiF4+2HF=H2SiF6 ，后者为强酸，酸性与硫酸相当。
主要用于氟硅酸及氟化铅的制取，也用作水泥和人造大理石的硬化剂、制造纯硅的中间体。
