EUV光刻机的光具有极短的波长，只有13.5纳米，比紫外光刻机使用的波长短得多。这种波长对于光学材料具有极高的吸收率，甚至连玻璃都不能透过这种波长的光线。
因此，为了让EUV光能够在光刻机中传输，需要使用反射镜来反射光线。
这些反射镜使用的是多层膜反射技术，能够将光线反射回到光刻机的光学系统中，从而实现高精度的光刻。
问EUV光刻机的光为什么要用反射镜
问题描述：
光刻机为什么要抛光镜片
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EUV光刻机使用的是极紫外（EUV）光源，其波长为13.5纳米，远远短于可见光。由于介质对EUV光的吸收非常强，所以传统的透射式光学元件无法用于EUV光刻机。因此，EUV光刻机采用反射镜来反射和聚焦EUV光。反射镜由多层膜组成，这些膜能够反射EUV光而不吸收它。这种设计使得EUV光能够被有效地聚焦和投射到光刻模板上，实现高分辨率的微影。
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