2.7到3.1。早在1997年,人们就认为在2003年,集成电路工艺中将使用的导体的介电常数(k值)将达到1.5。然而随着时间的推移,这种乐观的估计被不断更新。
到2003年,国际导体技术规划(ITRS 2003)给出低介电常数材料在导体未来几年的应用,导体介电常数范围已经变成2.7~3.1。
导电材料的介电常数
2.7到3.1。早在1997年,人们就认为在2003年,集成电路工艺中将使用的导体的介电常数(k值)将达到1.5。然而随着时间的推移,这种乐观的估计被不断更新。
到2003年,国际导体技术规划(ITRS 2003)给出低介电常数材料在导体未来几年的应用,导体介电常数范围已经变成2.7~3.1。
介电常数是用于电介质在外电场中极化的,定义为介质中电场/真空中的电场,即E'/E0,如果把导体也看成介质的话,那么导体在外场中会出现静电平衡,所以内部无电场,其相对介电常数必然为0。