1. 目前，euv光刻机的极限可以达到7纳米。
2. 这是因为euv光刻机采用了极紫外光（EUV）作为曝光光源，其波长为13.5纳米，比传统的光刻机使用的深紫外光（DUV）波长更短，可以实现更高的分辨率。
3. 随着技术的不断进步和创新，euv光刻机的极限可能会进一步提高，实现更小的纳米级别的制程。这将推动半导体行业的发展，使得芯片的集成度更高，性能更强大。
问euv光刻机极限是多少
问题描述：
光刻机最高精度多少
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目前，EUV（极紫外）光刻机被认为是半导体制造中的下一代技术。它使用波长为13.5纳米的极紫外光源，比传统的193纳米光刻机具有更高的分辨率和更小的特征尺寸。尽管目前的EUV光刻机已经实现了40纳米以下的特征尺寸，但其极限尚未确定。随着技术的不断发展和改进，EUV光刻机有望实现更小的特征尺寸，推动半导体行业向更高级别的集成电路迈进。
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