背景技术:
在1998年,美国华盛顿大学的c.m.bender教授提出了一种pt对称的哈密顿量,该哈密顿量不具有厄米性,但也同样有实解。这里的p和t分别代表了宇称(parity)变换和时间(time)变换。在bender教授提出pt对称概念后,国际上众多学者和研究机构很快加入到了这种非厄米的pt对称的研究之中。到目前为止,pt对称非厄米量子体系的理论框架已基本形成。
除了在量子体系中的研究,pt对称理论也在不同类型的经典物理系统中得到了验证,同时pt对称系统的一些特殊的性质和现象也被逐步发现。研究最早、报道最多的pt对称系统是光学系统,然后逐步扩散到电学、声学等多种系统。利用pt对称理论构造的经典物理系统获得了一些特殊性质和有趣现象,例如,单向隐身、完美吸收、磁光非互易性等;特殊性能包括:超灵敏传感、单模激光等。但目前对于pt对称系统的研究主要还是集中在光学系统和电学系统,而基于微机电的pt对称系统还未见研究报道。
技术实现要素:
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足而提供一种pt对称垂动微机电系统,本发明能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能。
本发明为解决上述技术问题采用以下技术方案:
根据本发明提出的一种pt对称垂动微机电系统,包括衬底、锚区、第一微机电结构、第二微机电结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路;所述第一微机电结构、第二微机电结构共享衬底和锚区,且为镜像对称结构;其中,
所述第一微机电结构包括第一谐振梁、第一差分电容下电极、第一差分电容上电极、第一上电极锚区和第一耦合结构;
所述第二微机电结构包括第二谐振梁、第二差分电容下电极、第二差分电容上电极、第二上电极锚区和第二耦合结构;
锚区设置在衬底上,第一谐振梁的末端与锚区相连,第一上电极锚区设置在衬底上且位于第一谐振梁的顶端的侧面,第一差分电容上电极与第一上电极锚区连接且位于第一谐振梁的上方,第一差分电容下电极设置在衬底上且位于第一谐振梁的顶端的正下方,第一差分电容下电极与第一差分电容上电极正对靠近放置,第一谐振梁的顶端部分位于第一差分电容下电极与第一差分电容上电极中间位置,第一耦合结构位于第一谐振梁的侧面位置,第一耦合结构和第二耦合结构正对靠近形成静电耦合结构;
所述第一差分电容下电极和第一差分电容上电极分别与第一可调阻尼电路相连;所述第二差分电容下电极和第二差分电容上电极分别与第二可调阻尼电路相连;
所述第一可调阻尼电路作用于第一微机电结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机电结构的等效阻尼符号相反、大小相等。