以下是使用 Zygo 干涉仪进行测量的基本步骤：
1. 准备待测样品，确保其表面干净平整，并确定要测量的区域；
2. 将样品放置在干涉仪测试台上，并调整其位置和旋转方向，使其与光路对准；
3. 预先设置好干涉仪参数，如波长、曲率半径、测试类型等；
4. 进行初步校准，包括引导光束、粗略调整相位差、坐标轴平衡等；
5. 开始进行精确测量，观察系统显示的干涉图像，并逐步微调相关参数直至获得合适的相位数据；
6. 根据测量结果进行分析和评估，并对可能存在的误差或偏差进行修正和校正。
需要注意的是，使用干涉仪进行精确测量需要一定的操作技能和经验，同时也需要保证环境条件稳定且免受外界扰动影响。因此，在使用前应详细阅读相关操作手册，并参考相关专业人士提供的建议和指导。
