电容电压法是1993年公布的材料科学技术名词。以上内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布
定义
利用pn结或肖特基势垒在反向偏压时的电容特性,测量体材料、外延材料以及低维量子结构材料等的载流子浓度及其分布的电学测量技术。