固体中原子的排列决定其性质，在单晶中原子是按一定的规律有序地排列的。当一束高度准直的带电粒子束入射到单晶靶上，在入射角小于某临界角时，由于受到晶格原子周期库仑势的制约，入射离子只能在晶面（原子列）之间振荡前进，从而它们与晶格原子核相互作用的近距碰撞事件的几率比非晶靶小得多（小20～30倍），这种效应被称为晶体的沟道效应。
学科：岩矿分析与鉴定
词目：沟道技术
英文：channeling technique
介绍：束的沟道成分起探针的作用，它能探测从晶格替代的位置上位移超过大约0.01～0.02纳米的基体原子或杂质原子。利用与背散射分析相同的原理，可以测定位移的基体原子数（损伤量）、非替位的杂质原子数及其深度分布。当发生沟道效应时，大部分入射离子被引导通过由原子列或原子面所形成的沟道，这些受沟道引导的粒子不能同原子核发生大角度卢瑟福散射，因此，来自衬底的散射大为削弱（约100倍），使表面上轻元素杂质的离子散射灵敏度得以提高。主要用于研究晶体中杂质原子的位置、晶格损伤、晶体沟道及其精细结构、表面非晶态和缺陷、单晶表面的无定形层、多晶薄膜等。
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