光强分布测定仪是一种用于信息与系统科学相关工程与技术、测绘科学技术领域的计量仪器,于2010年9月18日启用。
最佳空间分辨率(光学): 约30nm中心波段: 400nm~550nm微扫描范围: 30μm*30μm*10μm扫描方式: 逐点逐层自动扫描大范围对准: 电动+锁定,>10mm*10mm*10mm对准监控: 在线监控人机界面: 提供输出方式: 测量结果单层二维光强分布图及多层数据存储。
检测微小光斑的光强分布。