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溅射离子泵

发布时间:2023-09-15 12:00:13

溅射离子泵（sputter ion pump）是2013年公布的机械工程名词。

溅射离子泵定义

泵内被电离的气体输运到由阴极连续溅射所获得的吸气剂上的一种吸气剂离子泵。

溅射离子泵出处

《机械工程名词第五分册》。

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