界面态是指硅-二氧化硅界面处而能值位于硅禁带中的一些分立或连续的电子能级或能带。它们可在很短的时间内和衬底半导体交换电荷，故又称快界面态。称为快表面态的原因是为了和由吸附于二氧化硅外表面的分子/原子等所引起的外表面态加以区分。
基本分类
界面态一般也分为施主和受主两种。不论能级在禁带中的位置如何，若能级被电子占据时呈电中性，施放电子后呈正电性，则都称为施主型界面态；若能级空着时为电中性状态，而接受电子后带负电，则称为受主型界面态。
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