炉况的维护一般坩埚区温度高低决定坩埚大小,料面透气范围的大小是坩埚大小的表现。
炉况的维护一般坩埚区温度高低决定坩埚大小,料面透气范围的大小是坩埚大小的表现,所以在炉况的维护时要求:
①电极深插稳插
②料面透气性好,火焰区宽大均匀。因为电极深插,坩埚区温度提高,使SiC的破解反应区增大,SiC的破解反应加快;炉料...