内量子效率(Internal Quantum Efficiency, IQE)是光电探测器的基本性能指标之一。
内量子效率:当光子入射到光敏器材(如CCD等)的表面时,被吸收的那部分光子会激发光敏材料产生电子空穴对,形成电流,把产生的电子(没有诸如电子空穴复合过程引起的电子损失)与被吸收的光子之比叫作内量子效率(internal quantum efficiency)。
产生的电子数与所有入射的光子数之比,称为外量子效率。内量子效率一般要高于外量子效率。
对于半导体激光器而言,内量子效率=激光器有源区每秒产生的光子数/每秒注入有源区的电子空穴对数。