三探针法（英语名：three-probe measurement）是2011年公布的材料科学技术名词。以上内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布
以直线排列的三支金属探针与半导体外延样品表面接触，测量反向电流?-?电压特征，从击穿电压计算掺杂浓度再换算电阻率值的电学测量技术。
《材料科学技术名词》。
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