当前位置:首页 科普知识 深紫外光刻

深紫外光刻

发布时间:2023-09-15 14:06:42

深紫外光刻

深紫外光刻,采用反射光照射的非成像方式,用椭圆反射镜把波长在180~260纳米的深紫外光通过平管透镜聚集成平行光照射在掩模版上,使掩模版的图像复印到基片上的光刻技术。可用作亚微米级精细图形的加工方法。

温馨提示:
本文【深紫外光刻】由作者 爱百科 转载提供。 该文观点仅代表作者本人, 自学教育网 信息发布平台,仅提供信息存储空间服务, 若存在侵权问题,请及时联系管理员或作者进行删除。
(c)2008-2025 自学教育网 All Rights Reserved 汕头市灵创科技有限公司
粤ICP备2024240640号-6