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投影光刻机

发布时间:2023-09-15 14:55:42

投影光刻机（projection mask aligner）是1993年公布的电子学名词。

投影光刻机公布时间

1993年，经全国科学技术名词审定委员会审定发布。

投影光刻机出处

《电子学名词》第一版。

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