所谓全精馏制氩，即全部用精馏的方法除去氩馏分中的氧和氮。氧和氩的分离是在粗氩塔中完成的，为了降低粗氩塔的高度，一般采用二段精馏塔。含氩约为 9.18%的氩馏分经一段粗氩塔精馏后，氧含量降至约2.5%，继续进入二段粗氩塔精馏，在二段粗氩塔顶得到含氧小于2PPm的粗氩气（98.5%氩、 1.5%氮）。粗氩气再进入精氩塔精馏，进行氩和氮的分离。在精氩塔底部得到含氧量小于2PPm、含氮量小于3PPm的液态纯氩。
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