平面电机

平面电机（Planar Motor）是一种可以直接将电磁能转换为平面运动的电机。

平面电机简介

与其他类型电机一样，平面电机（Planar Motor）由定子、转子和支撑部件等部分组成，在支撑部件的限制和电磁力的作用下，平面电机的动子能够带动负载产生两维的平面运动。平面电机直接利用电磁能产生平面运动，具有出力密度高、低热耗、高精度的特点，因省去了从旋转运动到直线运动再到平面运动的中间转换装置，可把控制对象同电机做成一体化结构，具有反应快、灵敏度高、随动性好及结构简单等优点。

平面电机类型和特点

根据电磁推力的产生原理，可将平面电机划分为变磁阻型、永磁同步型和感应型三类。三类电机电磁推力的产生原理分别与同类型的旋转电机的电磁转矩产生原理相似，实际上，各种类型平面电机的提出与同类型的旋转电机不无渊源关系。上述三种平面电机中，感应平面电机的研究尚处于初级阶段，研究活动较少，且主要集中在日本。变磁阻平面电机经过前二、三十年的研究和开发，目前已经进入初步的产品化阶段。虽然这种平面电机具有结构简单、控制容易等优点，但是，它存在推力波动大、定位精度低、动定子之间吸力大、磁路严重饱和、发热量大等诸多问题，因此，其应用档次难以进一步提高。永磁同步型平面电机(Synchronous Permanent-Magnet Planar Motors，简称SPMPM)是近期研究和开发的热点。由于其在结构、控制精度、损耗等方面具有良好的综合性能，它在光刻机等现代精密、超精密制造装备中具有巨大的应用潜力，引起了国内外学术界和工程界的广泛兴趣。