纯组元的晶体中，不依赖于浓度梯度的扩散称为自扩散。
纯组元的晶体结构是均匀的，不存在浓度梯度，扩散的净通量应为零。表面涂有放射性同位素在扩散退火实验中显示，放射性同位素向体内自扩散，这种不依赖于浓度梯度的扩散被称为自扩散。
自扩散一般认为是扩散机制。晶体中的原子正是由于空位和间隙原子不断地产生与复合，才不停地由一处向另一处作无规则的布朗运动，这就是晶体中原子的自扩散。
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