高纯气体系统用手动控制阀，气体工业名词。
高纯气体系统用手动控制阀
气体工业名词，控制阀主要用于流量调节。有波纹管式和膜片式两种。膜片式流量控制阀在任一进气压力下最大流量与最小流量的流量比可达200：
1、，可稳定在流量值的2%范围内。
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