接触式三坐标测量机是一种用于物理学领域的电子测量仪器，于2008年9月30日启用。
Wavelength： 167-785 nm Precision： RSD< 1.5% Limit ： 1~10ppb 量程：700*1000*650 (mm) 精度：(1.7+3L/1000)μm。
几何尺寸及形位公差量测。
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