高纯气体系统用质量流量计是一种通过毛细管的热交换原理来测量各种气体质量流量的仪表。
高纯气体系统用质量流量计是一种通过毛细管的热交换原理来测量各种气体质量流量的仪表。
高纯气体系统用质量流量计（Usedin High Purity Gas System Mass Flowmeter）
气体工业名词，是一种通过毛细管的热交换原理来测量各种气体质量流量的仪表。其原理是在传感器部分的毛细管处绕上两个电阻，形成电桥，当气体在有传感器的管子内流动时，此电桥回路可得到与流量成正比例的输出信号。在半导体的淀积和扩散工艺中，利用质量流量计可以准确控制流量，从而可实现高精度的淀积和精确控制扩散深度。
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