蚀刻和刻蚀的区别

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蚀刻和刻蚀的区别希望能解答下

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2024-01-04 19:00:05

光刻:是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。

原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。刻蚀:是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。

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