在半导体制造过程中,SIC(碳化硅)衬底和外延片是两个不同的概念和组成部分。
1. SIC衬底:SIC衬底是指碳化硅材料制成的基底层,它是构成SIC器件的基础。SIC衬底通常是通过特定的生长方法,如化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等技术在晶圆上生长得到的。SIC衬底具有优异的热导率、高温稳定性和耐压能力,可以应用于高功率电子器件、光电子器件等领域。
2. 外延片:外延片是在衬底上进行材料外延生长的薄膜层。通常使用化学气相沉积(CVD)或分子束外延(MBE)等技术,将所需的半导体材料以原子层面逐渐生长到衬底上,形成具有特定结构和电学性能的薄膜。外延片的材料通常与衬底不同,并且用于形成各种半导体器件的活动层,例如晶体管、二极管、激光器等。总结起来,SIC衬底是指碳化硅材料的基底层,而外延片是在衬底上生长的薄膜层,用于形成具体的半导体器件。SIC衬底提供了良好的热性能和机械支撑,而外延片则决定了器件的电学特性和功能。两者在半导体制造中扮演着不同的角色。