单晶炉加料步骤

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单晶炉加料步骤,麻烦给回复

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2024-01-12 11:54:22

1.清炉、装炉;

2.抽空、充气、预热;

4.生长细颈;

5.扩肩及氮气的充入;

7.收尾、停炉清炉、装炉:清洗整个炉室内壁及加热线圈、反射器、晶体夹持器、上轴、下轴,调整加热线圈和反射器的水平及与上轴、下轴的对中;将多晶料夹具固定到多晶料尾部的刻槽处,然后将其安装到上轴末端,进行多晶料的对中;将籽晶装入籽晶夹头上,然后将其安装到下轴顶端;关闭各个炉门,拧紧各紧固螺栓

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