EDS(Energy Dispersive Spectroscopy)和mapping是扫描电子显微镜(SEM)和X-射线能量色散谱仪(EDS)的组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。
EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,可能需要半个小时或更长时间来收集数据。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping差不少。综上所述,EDS mapping和EDS有区别。EDS是一种用于分析微区成分的方法,而EDS mapping则是一种将EDS数据分析可视化的方法,可以显示微区中不同元素的分布情况。