1993年，中国科学院北京真空物理实验室操纵原子成功写出“中国”二字，标志着我国进入国际纳米技术前沿。
1998年。清华大学范守善小组在国际上首次制备出直径3～50纳米、长度达微米级的发蓝光氮化镓半导体的一维纳米棒。不久，中科院物理所解思深小组合成了当时世界上最长(达3纳米)、直径最小(0.5纳米)的“超级纤维”纳米碳管。1999年，中科院金属所成会明制备了高质量的半壁纳米碳管，并测定了其储氢容量。
2000年，中科院金属所卢柯在国际首次发现纳米晶体铜的室温延展超塑性，纳米晶体铜在室温下竟然可拉伸50倍而不断裂。
